MOCVD4.2
Optimierte Produktion von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung
Die Herstellung von Halbleitern ist ein zeitintensiver Prozess, welcher mittels kostenintensiver Anlagen durchgeführt wird. Dabei ist es wichtig potenzielle Probleme, sowohl generell in den entsprechenden Anlagen als auch innerhalb eines spezifischen Herstellungsprozesses, frühzeitig zu identifizieren um unnötige Kosten zu vermeiden und damit die Wettbewerbsfähigkeit zu sichern.
Das Ziel des Projektes MOCVD4.2 ist die Erhöhung der Produktionstauglichkeit der Technologien der Aixtron SE, welche Anlagen zur Fertigung von Halbleitern entwickelt. Dies soll durch Industrie 4.0 Ansätze, also mit vernetzten und automatisierten Maschinenkonzepten, automatisierten Datenanalysen, Maschinellem Lernen und präziser Prozesskontrolle erreicht werden. Das Vorhaben deckt somit die Bereiche prädiktive Instandhaltung, prädiktive Qualität und Prozesssteuerung ab. Hierbei kommen u.a. modernste KI Methoden innerhalb der Zeitreihenanalyse und Kausalmodelle zum Einsatz.